P400A и P800 за промишлено производство
P400A и P800 за промишлено производство
P400A и P800 са ALD системи, предназначени за промишлено производство. Те са идеални инструменти за мащабиране на тънък слой отлагане при R & D фаза. Системите са надеждни. Дизайнът е базиран на 25-годишна непрекъснат (24/7) тест, по отношение на взискателните индустриални изисквания.
Повечето от нашите индустриални клиенти изискват специални съоръжения и технологични настройки. Beneq има няколко вътрешни P400A и P800 системи, които се грижат за широк спектър от потребности на покритието при разработката на приложения. По този начин, клиентите търсещи производствено оборудване, могат да проверят техническата и финансова ефективност на процеса и оборудването, преди закупуване чреез наем. В допълнение, ние предлагаме възможност за производство с малък обем, докато собственото производство на нашите клиенти е реализирано.
Акценти производителност:
- Незабавно увеличаване на производството
- Производствен контрол.
- UPS функции.
- Малка нужда от поддръжка.
- Уникален дизайн за постигане на гъвкавост при товарене, партиди и субстрати
- Коконтрол на замърсяването.
- Ценово-ефективен
- Уникалнен блок с термично стабилен източник с патентовани бързи вградени дозиращи вентили и интегрирани канали за потока.
- Вакуумна система за изпомпване с многофазен капацитет; опция за де-активиране на системата за филтриране, за да се даде възможност за обработка на голям обем партиди.
Технически спецификации: