TFS 200R за пространствени ALD изследвания

TFS 200R за пространствени ALD изследвания 

В TFS 200R гъвкав субстрат е фиксиран върху въртящ се цилиндър в реакционната камера. Самия цилиндър е заобиколен от няколко линейни дюзи, всеки създаващ изолиран от газ обсег през цялата ширина на субстрата. В цилиндъра субстратът се завърта, преминава през различни обхвати на газ и се покрива.
Beneq TFS 200 R, със своята здрава и модулна конструкция, е предназначен да отговоря на всички индустриални стандарти и изисквания за гъвкавост на изследвания. Прекурсорните контейнери са удобно и малки, и могат лесно да се променят. В зависимост от нуждите на процеса, TFS 200R може да бъде оборудван с до 2 отопляеми източника, тип ХС 80 и / или ХС 180. Освен това, системата може да бъде оборудвана с до 8 газови линии и до 4 течни източника.

Акценти производителност:

• Отлагане до 100 нм / мин
• Преместването на субстрат, ускоряване до 300 м / мин
• Висока скорост и регистриране на данните, както и интерфейс (HMI).
• Студено-стенна вакуумна камера за бързо нагряване и охлаждане
• Спомагателни входни портове в вакуумната камера позволяват диагностика на място и т.н.
• Основа позволяваща равномерна разпределяне на температурата и предотвратяване на прекурсорна кондензация
• Клас 100 (ISO 5) съвместимост
• Конфигурацията на прекурсорния източник дава възможност за лесни промени

Технически спецификации:

още..