TFS 500 за научни изследвания и ALS продукция

TFS 500 за научни изследвания и ALS продукция 

TFS 500 може да се справи с няколко вида субстрати; вафли, равнинни обекти, частици и порести насипни материали, както и сложни 3D обекти. Допълнително може да бъде оборудван с ръчно управление, заключване на натоварването за увеличаване на възможности за обработка на пластини. Различни видове камери за реакция може лесно да бъдат монтирани във вътрешността на вакуумната камера, което от своя страна дава възможност за оптимизиране на всяка реакционна камера при заявка на клиента.

TFS 500 отговаря както на строгите изисквания за индустриалната надеждност, така на и необходимостта от гъвкавост при операциите R & D. Компоненти на процес са радио-и телевизионни шелф изделия, което гарантира наличността на резервни части. Всички контейнерни прекурсори могат лесно да бъдат променени, в кратък срок. За пълна гъвкавост, е включена опция за горещ източник на 500 ° C.

Акценти производителност:

• Време за извърване на цикъл  по-малко от 2 секунди. В много случаи по-малко от 1 секунда (с вариация <± 1% за, например, Al2O3).
• Гъвкавост горещ източник, до 500 ° C, 
• За конкретни приложения дизайн реакционна камера
• Директна и дистанционна плазма ALD
• Модулният дизайн позволява лесна смяна на реакционните камери, източниците и тръбите
• Високо налягане, възможни отлагания за субстрати върху голяма площ
• Ръчен режим на работа на разположение за бърза субстратна промяна 
• Реакционна камера за предотвратяване на кондензация и вторични реакции
• Студено-стенна вакуумна камера за бързо нагряване и охлаждане
• Спомагателни входни портове в вакуумна камера за диагностика на място и т.н.

Технически спецификации:

още..