TFS 600 за промишлено OLED капсулиране

TFS 600 за промишлено OLED капсулиране

TFS 600 е ALD система предназначена за вакуумно интегриране на органични светодиоди (OLED) за капсулиране. Тя осигурява по-високо ALD качество на работа, като същевременно отговаря на изискванията за висока пропускателна способност, устойчивост и надеждност на промишленото производство. В TFS 600, тези изисквания са адресирани чрез оптимизиран дизайн на реакционната камера- здрава и модулна конструкция, с доказан контрол и експлоатация на компонентите и възможност за интегриране на системи за безопасност.

Акценти производителност:

• Изключително качество на тънкослойното покритие, подходящ за взискателни OLED приложения за капсулиране
• Изисквания за производство за кратък цикъл от време с високо производителни 
• Напълно автоматизирани операции за товарене
• Ергономичен дизайн за максимизиране на ефективността на работа с субстрати; достъпна вакуумна камера и поддръжка
• Система за контрол, предназначени за лесна интеграция, съвместим с GEM / SECS оборудване

Технически спецификации:

още..